薄膜の形成に用いられる“スパッタリング”。均一で高品質な成膜が求められますが、プラズマや熱などに影響を受けやすいデリケートな素材を使う場合には、事前に充分な対策をとらなければいけません。
トヤマの『新対向ターゲット形スパッタリング装置』は、箱型の空間内にプラズマを留めることで、基板などへのダメージを抑制しながら成膜が行える製品です。低温での成膜が可能なため、基板の温度上昇を抑えて成膜の品質を向上。有機ＥＬディスプレイの電極形成や、高性能透明断熱フィルム、ＨＤＤ用ＤＬＣ膜、シードＣｕ層、Ｃｏ－Ｃｒ合金系磁気記録膜など各種成膜に活用できます。
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